P-1:半導体測定装置の振動解析

①現状モデルの振動変位

まずは現状の振動状態を把握します。そして変位が大きい部分を確認して対策案を考えます。

②計画の立案と効果の検証

設計変更を加えるために解析計画を立案します。また振動変位を減少させるためにどの部分に感度があるかあらかじめ把握しておきます。いくつかの設計案の中から実現可能性のある設計案を採用します。

③設計案の決定

この解析は設計者自ら実施したものです。いくつかある設計案から採用できる案を実施しました。その結果、モデルの固有値を約400%上げることに成功して振動変位も減少できました。